[Àç¹ÌÇÑÀÎÀüÀÚÇö¹Ì°æÇùȸ KEMGA Newsletter 1993. 2.]

Acoustic Microscopy Symposium Âü¼®±â

±è Áø ¿À

Northwestern University

1992³â 11¿ù 8-13ÀÏ¿¡ L.A. ±Ù±³ÀÇ Anaheim¿¡¼­ °³ÃÖµÈ ASME(American Society of Mechanical Engineers) Winter Annual Meeting Áß¿¡ ÀÖ¾ú´ø Acoustic Microscopy Symposium¿¡ Âü¼®ÇÑ ÈÄ ´À³¤ ¼Ò°¨À» ÇÇ·ÂÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù.

Çö¹Ì°æÇÐÀÇ ±â¿øÀÌ »ý¹°Çп¡ÀÇ È°¿ëÀ̾ú´ø °Í¿¡ ¹ÝÇØ ¿äÁîÀ½¿¡´Â »õ·Î¿î ÀåÄ¡¸¦ µµÀÔÇÑ ±â¼úµéÀÌ °³¹ßµÇ¸é¼­ Àç·á°úÇÐ ºÐ¾ß¿¡ º¸´Ù ³Î¸® È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Ãß¼¼ÀÌ´Ù. 1970³â´ëºÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î °³¹ßµÇ±â ½ÃÀÛÇÑ acoustic microscopeÀº ÀÌ ·¯ÇÑ º¯ÃµÀÇ ÀüÇüÀûÀÎ ¿¹°¡ µÉ °ÍÀÌ´Ù.

±×·±µ¥, ÀÌ ÀåÄ¡ÀÇ ¿ø¸®°¡ ÃÊÀ½ÆÄÇп¡ ±Ù°ÅÇÏ°í Àֱ⠶§¹®ÀÎÁö ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ ÇмúÇà»ç´Â Áö±Ý±îÁö ÁÖ·Î Àü±âÀüÀÚ°øÇÐÀڵ鿡 ÀÇÇؼ­ ÁÖµµµÇ¾î ¿Ô´Ù. IEEE (Institute of Electrical and Electronics Engineers)ÀÇ ÇмúÁö Áß Transactions on Sonics and Ultrasonics¿¡ 1985³âµµ¿¡ special issue°¡ ¹ßÇàµÇ¾ú°í, IEEE Ultrasonics Symposium¿¡ ¸Å³â µ¶¸³µÈ sessionÀ¸·Î Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Ù.

±â°è°øÇÐÀÚµéÀÇ Çмú´ëȸ¿¡¼­ ÀÌ ºÐ¾ß°¡ µ¶¸³µÈ ÁÖÁ¦·Î ¼±Á¤µÈ °ÍÀº À̹ø ÀÌ Ã³À½ÀÌ´Ù. ÃÊÀ½ÆÄÀÇ ÀüÆÄ ¿îµ¿°ú ¸ÅÁú °£ÀÇ ¿ªÇÐÀ» Åä´ë·Î ±â°è°øÇÐÀÚµéÀÌ ÀÌ ¹Ì ¿À·¡ ÀüºÎÅÍ ÀÌ ºÐ¾ßÀÇ ¿¬±¸¿¡ °ü·ÃµÇ¾úÀ½À» »ó±âÇÒ ¶§ µÚ´ÊÀº °¨ÀÌ ÀÖ´Ù. ±× ·³¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í À̹ø symposiumÀº ±â°è°øÇÐÀÌ ´Ù¸¥ Çй® ºÐ¾ß¿Í ±ä¹ÐÇÏ°Ô »óÈ£ ¿¬°üµÉ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ÀáÀç·ÂÀÌ Àß Ç¥ÃâµÈ Çà»ç¿´´Ù. ¹ßÇ¥³í¹®ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ÁÖÁ¦µéÀÌ ÀÌ ¸¦ µÞ¹ÞħÇÑ´Ù. ¹ßÇ¥µÈ ³í¹®µéÀ» ºÐ·ùÇغ¸¸é ¿ø¸®ÀÇ Çؼ®, ÀåÄ¡ °³¹ß, »ý¹°Çп¡ÀÇ ÀÀ¿ë, Àç·áÇп¡ÀÇ ÀÀ¿ë µîÀÌ´Ù.

ÀÌ·ÐÀû Çؼ®À¸·Î ÀåÄ¡ÀÇ ¿ø¸®°¡ ¼³¸íµÇ°í ½ÃÆíÀÇ ±Õ¿­¿¡ ´ëÇؼ­ ¾î¶°ÇÑ ¹ÝÀÀÀÌ ³ªÅ¸³¯Áö ¿¹ÃøµÇ¾ú´Ù. »õ·Î¿î ÀåÄ¡ÀÇ °³¹ß·Î Áö±Ý±îÁö ½ÃÆÇµÇ°í »ç¿ëµÇ¾î ¿À´Â ºñ½Ñ Àåºñ¿¡ ´ë½ÅÇÏ¿© ºñ±³Àû Àú·ÅÇÏ°Ô Á¦ÀÛÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â ¿¹µéÀÌ ¼Ò°³µÇ¾ú´Ù. Àç·áÇп¡ÀÇ È°¿ëÀ¸·Î ¼Ò¼ºº¯ÇüÀ» ŽÁöÇÏ´Â µ¥¿¡ ÀÀ¿ëµÉ ¼ö ÀÖÀ½ÀÌ Á¦½ÃµÇ¾ú°í thin filmÀÇ Åº¼º°è¼ö ÃøÁ¤°ú Ç°ÁúÆò°¡ µî¿¡ È°¿ëµÈ °á°úµéÀÌ ¹ßÇ¥µÇ ¾ú´Ù. »ý¹°Çп¡ÀÇ È°¿ëÀ¸·Î´Â À¯¸®ÆÇ À§¿¡ ³õÀÎ »ì¾ÆÀÖ´Â ¼¼Æ÷¸¦ ÀÏÁ¾ÀÇ thin filmÀ¸·Î °£ÁÖÇÏ¿© ±× Ư¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇÏ°í image¸¦ º¸ÀÎ ¿¹µéÀÌ ¼Ò°³µÇ¾ú´Ù. (proceeding ÂüÁ¶)

À̹ø symposium¿¡ ¹ßÇ¥ÀÚÀÇ ÇÑ »ç¶÷À¸·Î Âü¼®Çؼ­ ´À³¤ ÇÑ°¡Áö ¾Æ½¬¿òÀº ¹ßÇ¥µÈ ³í¹®µéÀÌ ¹Ì±¹°ú ÀϺ», ±×¸®°í µ¶ÀÏ¿¡¼­ ¼öÇàµÈ ¿¬±¸µéÀÇ °á°úÀÎ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ Çà»ç¿¡ Âü¼®Àº ÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸ Áß±¹¿¡¼­µµ ÇöÀç È°¹ßÈ÷ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇϸç Çмú Áö¿¡ ³í¹®À» °ÔÀçÇÏ°í ÀÖ°í ´ë¸¸¿¡¼­µµ ÃÖ±Ù ÀÌ ºÐ¾ß¿¡ ¶Ù¾îµé¾î ¿Ü±¹ Àü¹®°¡µé À» ÃʺùÇÑ °­¿¬ µîÀ» ÅëÇØ Áö½ÄÀ» ³ÐÇô°¡°í ÀÖ´Ù. Çѱ¹ ³»¿¡µµ acoustic microscopyÀÇ Àü¹®°¡µéÀÌ ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í Àִµ¥, ÈǸ¢ÇÑ ¿¬±¸°á°ú¸¦ ¾ò¾î ±¹ Á¦ÀûÀÎ Çмú´ëȸ¿¡ Âü¼®ÇÏ¿© ±× ¿ì¼ö¼ºÀ» ¾Ë¸®´Â ÇÑÆí ½Ã¾ß¸¦ ³ÐÈú ¼ö ÀÖ°Ô µÇ±â ¸¦ Èñ¸ÁÇÑ´Ù. (³¡)